99,999% особая чистота брызгая титан цели Gr1 титана экспириментально изначальный

Цели брызгать цели 99,999% титана титан высокочистой экспириментально изначальный

Подгонянная цель титана цели титана круглая

Обычно мы будем обеспечивать качественный отчет о проверке как это с товарами,

что показывает химический состав и физические свойства

Цель титана квадратная, цель титана круглая, цель формы титана особенная

Очищенность один из показателей эффективности цели.

Очищенность материала цели имеет большее влияние на представлении фильма.

Основные требования производительности для целей:

Очищенность

Очищенность цели один из основных показателей эффективности цели потому что очищенность цели значительно влияет на представление фильма. Однако, в фактических применениях, требования для очищенности материала цели нет этих же. Например, с быстрым развитием микроэлектроники индустрия размер кремниевой пластины был расширен от 6", 8" до 12", связывая проволокой ширина была уменьшена от 0,5 um до 0,25 um, 0,18 um, и 0,13 um. Ранее, очищенность цели была 99,995%.

Содержание примеси

Основной источник депозированного фильма кислород и влага твердых тел и пор цели. Цели для различных применений имеют различные требования для различных уровней примеси. Например, цели чистых алюминиевых и алюминиевых сплавов используемых в индустрии полупроводника имеют особенные требования для содержания щелочного металла и содержания радиоактивного элемента.

Плотность

Уменьшить поры твердых тел цели и улучшить представление брызганных фильмов, целям типично нужно быть более плотно. Плотность цели влияет на не только тариф брызгать но также электрические и оптически свойства фильма. Высокий плотность цели, лучший представление фильма. К тому же, когда плотность цели и интенсивность подняты, цель может выдержать термальный стресс во время брызгать. Плотность один из показателей эффективности цели.

Размер зерна и распределение по размеру

Обычно цель поликристаллическа, и размер частицы может находиться в заказе микрометров к миллиметру. В случае такой же цели, тариф брызгать тонкозернистой цели более быстр чем тариф брызгать широкослойной цели, пока брызгайте низложение цели размера более небольшой частицы (однородного распределения) имеет равномерное распределение толщины (форму). Распределение.